光刻机和光刻厂的区别

来源：锐游网

定义不同，结构不同。
1、光刻工厂是用于生产半导体芯片的工厂，包括多个工艺步骤，如沉积、腐蚀、光刻、清洗等，光刻工厂是半导体芯片生产的核心环节之一，负责将设计好的电路图案转移到硅片上。
2、光刻机是光刻工厂中的关键设备，是一种利用光源和光刻胶将电路图案投射到硅片上的设备，光刻机由光源、光刻胶、掩膜、镜头等部件组成，光刻机主要作用是将设计好的电路图案通过光的照射和光刻胶的光敏性质转移到硅片上，形成准确的电路结构。

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