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一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器[实用新型专利]
来源：锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器专利类型：实用新型专利
发明人：吴晟,梁津津,程敏,兰卉,田雨,邓云,李红志申请号：CN201520299885.X申请日：20150508公开号：CN204988534U公开日：20160120
摘要：本实用新型公开了一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器，涉及传感器技术领域，其特征在于：所述高灵敏度薄膜型电阻温度传感器包括衬底(1)和过渡层(2)；其特征是：所述衬底(1)包括两个衬底薄膜，所述过渡层(2)的边缘搭接于两个衬底薄膜上，并固接为一体；在所述的过渡层(2)上生长有图案薄膜电阻层(3)，在所述图案薄膜电阻层(3)上设有图案金属电极层(4)。通过采用上述技术方案，本实用新型中衬底和过渡层之间的接触面积急剧减少，因此避免了衬底快速的导热效应，从而降低了衬底热传递系数，提高了薄膜电阻传感器的温度灵敏度。
申请人：国家海洋技术中心
地址：300112 天津市南开区咸阳路60号
国籍：CN
代理机构：天津市鼎和专利商标代理有限公司
代理人：郑乘澄
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