一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构[实用新型专利]

*CN203187777U*

(10)授权公告号(10)授权公告号 CN 203187777 U(45)授权公告日 2013.09.11

(12)实用新型专利

(21)申请号 201320116708.4(22)申请日 2013.03.14

(73)专利权人马鞍山明鑫电气科技有限公司

地址243100 安徽省马鞍山市承接产业转移

示范园区光能大道(72)发明人马四海 张笑天

(74)专利代理机构安徽合肥华信知识产权代理

有限公司 34112

代理人余成俊(51)Int.Cl.

C30B 15/30(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页权利要求书1页 说明书2页 附图1页

()实用新型名称

一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构(57)摘要

本实用新型公开了一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，包括有四方体型的腔体，腔体上设有工作腔，腔体上位于工作腔的右上角部位设为实心结构；所述腔体的右侧壁上开有温度传感装配孔及液面导电传感装配孔。本实用新型的右上角设计为实心结构，增加提拉头右侧重量，达到动平衡中心于钢丝绳重合的目的，降低了高速旋转的离心力，达到了提升晶转速度的目的。同时在设计过程中，再腔体侧壁上增加温度传感装配孔及液面导电传感装配孔，预留全自动设备改造必须件的装配空间。

CN 203187777 UCN 203187777 U

权 利 要 求 书

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1.一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，包括有四方体型的腔体，腔体上设有工作腔，其特征在于：所述腔体上位于工作腔的右上角部位设为实心结构；所述腔体的侧壁上开有温度传感装配孔及液面导电传感装配孔。

2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，其特征在于：所述温度传感装配孔及液面导电传感装配孔位于腔体的右侧壁上。

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说 明 书

一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构

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技术领域：

[0002] 本实用新型主要涉及CZ直拉法单晶炉设备制造领域，尤其涉及一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构。[0003] 背景技术：

[0004] 随着世界能源危机的到来，越来越多的国家和地区加速对新能源行业及清洁能源的应用研发，例如风能、光能、生物能，加大对新能源的技术转化为民用技术的扶持力度，特别是光电转化技术的产业化，由此诞生了新兴行业—光伏行业。近几年光伏行业的迅速发展，光伏行业由一个新兴行业渐渐走向成熟，世界大量的光伏发电项目相继建立运营，光伏发电的应用比例持续增加，光电已经成为之后世界能源技术的一个新趋势。[0005] 光伏行业内各新工艺的应用，同时也对太阳能电池的制作材料硅单晶品质参数要求更加严格。为此各直拉单晶厂家改善生产工艺，采用高晶转低埚转等工艺方法来改善产品品质。

[0006] 但由于之前国外直拉法单晶炉设备专利及相关技术转让条件，我国国产直拉法单晶炉设备设计能力一直落后于国外；大多数的国产单晶炉设备均为半自动工艺产品，在设计时未预留全自动设备改造的空间。此外，由于绕线轮腔体的右侧设为阶梯状，导致提拉头结构的动平衡中心偏左，致使晶转能力最多只能达到10转/分，不能达到高晶转的设备能力，在提高晶转时出现单晶炉软轴摆动、晃动等情况，严重影响晶体生长，制约直拉法单晶的工艺改进。

[0007] 实用新型内容：

[0008] 本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，它可以保证提拉头结构的动平衡，避免出现软轴摆动、晃动等情况。[0009] 本实用新型是通过以下技术方案实现的：

[0010] 一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，包括有四方体型的腔体，腔体上设有工作腔，其特征在于：所述腔体上位于工作腔的右上角部位设为实心结构；所述腔体的侧壁上开有温度传感装配孔及液面导电传感装配孔。[0011] 一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，其特征在于：所述温度传感装配孔及液面导电传感装配孔位于腔体的右侧壁上。[0012] 已有技术中，CZ直拉法单晶炉均为采用软轴（钢丝绳）连接的方式作为上部提拉旋转机构。单晶炉提拉头在晶转旋转时，实际在做一个离心运动，当提拉头旋转时动平衡中心与钢丝绳重合时，钢丝绳不会受到离心力而造成左右摆动；但动平衡中心偏离钢丝绳时，钢丝绳受到离心力作用而造成左右摆动，旋转速度越快，旋转产生之离心力会对钢丝绳作用也会越大。

[0013] 由于已有技术中绕线轮腔体的右上角为阶梯结构，导致提拉头结构的动平衡中心偏左，致使晶转能力最多只能达到10转/分。而本实用新型中的绕线轮腔体右上角为实心结构，增加提拉头右侧重量，达到动平衡中心于钢丝绳重合的目的，降低了高速旋转的离心力，达到了提升晶转速度的目的。同时在设计过程中，再腔体侧壁上增加温度传感装配孔及

[0001]

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说 明 书

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液面导电传感装配孔，预留全自动设备改造必须件的装配空间。[0014] 本实用新型的优点是：

[0015] 本实用新型在提高单晶炉晶转方面比较优异的效果，通过实测数据得出，改造前晶转最高只能达12转/分，晶体晃动系数<2mm；改造结束晶转最高25转/分，晶体晃动系数<2mm，能最大的发挥单晶炉的旋转极限，更适应目前的高晶转工艺拉制单晶产品。同时预留全自动设备必须件的装配空间，为更优异的CZ直拉法单晶生长工艺的执行提供了良好的设备基础。

[0016] 附图说明：

[0017] 图1为本实用新型的结构示意图。[0018] 图2为本实用新型的主视图。[0019] 具体实施方式：[0020] 参见附图。

[0021] 一种直拉法单晶炉提拉头的绕线轮腔体结构，包括有四方体型的腔体1，腔体1上设有工作腔2，腔体1上位于工作腔2的右上角部位设为实心结构3；所述腔体1的右侧壁上开有温度传感装配孔4及液面导电传感装配孔5。

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说 明 书 附 图

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图1

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图2