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一种上下分体直拉单晶坩埚[实用新型专利]
来源:锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称:一种上下分体直拉单晶坩埚专利类型:实用新型专利发明人:詹国彬,黄建明,李西维申请号:CN201120305210.3申请日:20110822公开号:CN202208775U公开日:20120502
摘要:本实用新型提出一种上下分体直拉单晶坩埚,其特征在于坩埚包括坩埚壁和坩埚底上下两部分。本实用新型通过将坩埚分成坩埚壁和坩埚底上下两部分,有效减小了过渡部分“R”部的应力,避免了单晶炉在单晶硅生长过程中的,石墨坩埚开裂的现象,从而有效的提高了坩埚的寿命。同时,由于上下部分采用不同的材料,有效减少碳碳复合材料的使用,节约了成本。
申请人:上海东洋炭素有限公司
地址:201611 上海市松江区新飞路486号
国籍:CN
代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司
代理人:王光辉
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