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一种多通道激光诱导荧光芯片

来源:锐游网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201520364595.9 (22)申请日 2015.05.29 (71)申请人 清华大学

地址 100084 北京市海淀区清华大学中意环境节能楼424室

(10)申请公布号 CN204649625U

(43)申请公布日 2015.09.16

(72)发明人 周小红;施汉昌;宋保栋;路密芳

(74)专利代理机构 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人 何自刚

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种多通道激光诱导荧光芯片

(57)摘要

本实用新型提供一种多通道激光诱导荧光

芯片包括:半导体激光器、线产生器和光波导元件,其中,半导体激光器、线产生器和光波导元件顺序安装,光波导元件为长条形,光波导元件包括:上表面、下表面、头端面、尾端面和侧面,头端面设置在靠近线产生器端,头端面与光波导元件上表面之间的角度设置为15°~165°,上表面与下表面平行,上表面、下表面及头端面均经过抛光,且上表面、下表面及头端面

粗糙度Rz小于1.6μm。本实用新型解决了传统多通道激光诱导传感芯片制作过程复杂、耦合效率低的问题。

法律状态

法律状态公告日

2015-09-16

授权

法律状态信息

授权

法律状态

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说明书

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