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一种微电极阵列的制备方法[发明专利]
来源：锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种微电极阵列的制备方法专利类型：发明专利发明人：王哲哲,温馨,郑志强申请号：CN201610647207.7申请日：20160809公开号：CN106219483A公开日：20161214
摘要：本发明涉及感光凝胶技术领域，特别涉及一种微电极阵列的制备方法。包括以下步骤：步骤1：将正硅酸乙酯和无水乙醇混合搅拌20‑40min，加入1,10‑菲啰啉、去离子水和盐酸，继续搅拌2‑3h，陈化24‑48h，得到二氧化硅感光溶胶；上述添加试剂的摩尔比为正硅酸乙酯：无水乙醇：1,10‑菲啰啉：去离子水：盐酸＝5:100‑200:2.5:10:1；步骤2：采用步骤1制得的二氧化硅感光溶胶在衬底制备二氧化硅感光薄膜；将掩膜版置于所述二氧化硅感光薄膜表面，在紫外光下曝光30‑60min，经无水乙醇溶洗显影后得到微电极阵列。
申请人：福建师范大学
地址：350117 福建省福州市仓山区岭后路8号
国籍：CN
代理机构：福州市博深专利事务所(普通合伙)
代理人：林志峥
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