专利名称：一种3D-MEMS光开关专利类型：发明专利发明人：蒋臣迪,章春晖申请号：CN201310573872.2申请日：20131115公开号：CN104635334A公开日：20150520
摘要：一种3D-MEMS光开关，包括：准直器阵列、PD阵列、楔方棱镜、分光三角棱镜、微机电系统MEMS微镜、以及与所述PD阵列、所述MEMS微镜连接的核心光开关控制器。本发明中，将PD阵列集成到核心光开关内部，简化了光开关架构和体积，采用楔方棱镜和分光三角棱镜分光，光信号部分透射到PD阵列用于检测光功率，从而核心光开关控制器根据PD阵列检测到的光信号的光功率调整MEMS微镜，使3D-MEMS光开关的插入损耗满足预设的衰减区间，本发明简化了空间光路的设计，有利于实现大规模3D-MEMS光开关，且节省了成本。
申请人：华为技术有限公司
地址：518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
国籍：CN
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