专利名称：可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置专利类型：发明专利发明人：刘奇,王暄,李东平申请号：CN201510581410.4申请日：20150914公开号：CN105182198A公开日：20151223
摘要：本发明涉及一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置。其特征在于，其包括高压电极、地电极、温度传感器、电加热片、反馈式精密温控仪、千分测厚仪、杠杆开关，所述高压电极内置温度传感器，所述电加热片封于地电极中，所述杠杆开关与高压电极相连，用于控制高压电极的高度。该装置在测试薄膜电击穿性能的同时，还可以获得薄膜的厚度信息，并且温度控制更加精确，因此本装置具有操作简单，实验精确度高、效率高的优点。
申请人：哈尔滨理工大学
地址：150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- ryyc.cn 版权所有 湘ICP备2023022495号-3
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务