专利名称：超硬纳米复合薄膜及其制作工艺专利类型：发明专利
发明人：李戈扬,韩增虎,胡晓萍,戴嘉维,顾明元申请号：CN02110528.6申请日：20020110公开号：CN1377988A公开日：20021106
摘要：超硬纳米复合薄膜及其制作工艺,属于材料的陶瓷薄膜领域。其成分配方原子百分比为:Nb:25－40%,Si:1－15%,N:50－65%。其制备工艺为:在金属或陶瓷或其他材料的基体上利用三气源反应溅射沉积法制取Nb－Si－N纳米复合薄膜,首先将金属或陶瓷或其他材料的基体表面作镜面抛光处理,利用反应溅射沉积技术制取复合薄膜,薄膜厚度为1μm－3μm,薄膜中存在NbN纳米晶相和SiN非晶相。本发明具有实质性特点和显著进步,可广泛用于金属工模具的表面硬化处理,硬度可达39Gpa以上,最高硬度可达53Gpa,本发明的溅射效率较高,可大大提高工业化大规模生产的实用性和效率。
申请人：上海交通大学
地址：200030 上海市华山路1954号
国籍：CN
代理机构：上海交达专利事务所
代理人：王锡麟
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容