铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法[发明专利]

来源：锐游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法专利类型：发明专利

发明人：姚力军,潘杰,王学泽,陈勇军,刘庆申请号：CN200910135315.6申请日：20090417公开号：CN1015793A公开日：20091028

摘要：一种铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法，包括：提供铝靶材坯料和铝合金背板；将铝靶材坯料和铝合金背板放置入真空包套送入焊接设备；采用热等静压工艺进行扩散焊接，将铝靶材坯料焊接至铝合金背板形成靶材组件；完成焊接后，进行空冷并拆除真空包套取出靶材组件。本发明采用真空套包实现靶材与背板与空气隔绝，有效防止焊接时金属表面被氧化，并降低了真空设备成本；另一方面，利用热等静压工艺进行扩散焊接，进一步地提高铝靶材坯料与铝合金背板之间的结合强度，且结合后弯曲变形小。

申请人：宁波江丰电子材料有限公司

地址：3100 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：李丽

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