洁净室（区)空气洁净级别表 洁净度级别 ≥0.5μm尘粒数 100级 10，000级 100，000级 300，000级 3，500 350，000 3,500,000 10,500，000 尘粒最大允许数/立方米 ≥5μm尘粒数 0 2,000 20，000 60，000 微生物最大允许数 浮游菌/立方米 5 100 500 1000 1 3 10 15 沉降菌/皿 ISO144-1（国际标准) 空气洁净 度等级(N) ISO Class1 ISO Class2 ISO Class3 ISO Class4 ISO Class5 ISO Class6 ISO Class7 ISO Class8 ISO Class9 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米) 0。1um 10 100 1，000 10，000 100，000 1，000,000 0。2um 2 24 237 2,370 23，700 237,000 0.3um 10 102 1，020 10,200 102，000 0.5um 4 35 352 3，520 35，200 352,000 3，520，000 35，200，000 8 83 832 8，320 83,200 832，000 8，320，000 29 293 2，930 29，300 293，000 1。0um 5。0um 注：由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 各国洁净度等级近似对照表 个/M≥0.5um ISO 144-1 1 3。5 10。0 35。3 100 353 1,000 3，530 — 2 — 3 — 4 — 5 US 209E(1992） - — M1 M1。5 M2 M2.5 M3 M3。5 US 209D（1988) - — — 1 — 10 — 100 EEC cGMP（19） - — - - — — — A+B FRANCE AFNOR(1981) — - - — — - — 4，000 GERMANY VDI2083（1990) - 0 - 1 - 2 — 3 JAPAN JAOA（19) - 2 - 3 — 4 — 5 10,000 35，300 100，000 353，000 1，000，000 3，530，000 10，000，000 — 6 — 7 - 8 — M4 M4.5 M5 M5。5 M6 M6。5 M7 - 1，000 - 10，000 - 100,000 — - 1，000 - C - D — - - — 400，000 — 4,000，000 — — 4 - 5 - 6 — — 6 - 7 — 8 — 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³) 空气洁净度等级(N） 0.1um 1 2 3 4（十级） 5（百级) 6（千级） 7（万级) 8(十万级) 9（一百万级） 10 100 1000 10000 100000 1000000 0.2um 2 24 237 2370 23700 237000 0。3um 10 102 1020 10200 102000 0。5um 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 1um 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 5um 29 293 2930 29300 293000
