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纳米级滚珠丝杠及其驱动方法[发明专利]
来源：锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：纳米级滚珠丝杠及其驱动方法专利类型：发明专利
发明人：胡旭晓,台宪青,李家赓申请号：CN03151119.8申请日：20030916公开号：CN1525085A公开日：20040901
摘要：本发明公开了一种纳米级滚珠丝杠及其驱动方法。它依次具有纳米级驱动部件、丝杠、滚珠圆柱螺母，并由支撑座固定，在纳米级驱动部件上设有半导体制冷器、驱动面，纳米级驱动部件由驱动装置驱动。纳米级滚珠丝杠的驱动方法是一级进给由滚珠丝杠完成，同时通过半导体制冷器对丝杠降温，即可以提高一级进给的精度又可以减少丝杠传动时产生的热量对环境温度的影响，二级进给由纳米级驱动部件完成，通过半导体制冷器功率的微弱变化使丝杠的长度纳米级增长或缩短，控制进给量达到10nm精度的方法。本发明较传统结构滚珠丝杠最大优点就在于可以达到10nm的定位精度，驱动力可以达到500kg，结构简单，安装简便。
申请人：浙江大学
地址：310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：张法高
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