专利名称：负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺及
固化浮雕图案的制造方法
专利类型：发明专利
发明人：平田竜也,村上航平,藤冈孝亘申请号：CN201980041387.6申请日：20190718公开号：CN112334833A公开日：20210205
摘要：提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体；(B)包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及(C)光聚合引发剂。式(1)中，X、Y、n、R和R分别在本申请说明书中被定义。
申请人：旭化成株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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