您好,欢迎来到锐游网。
搜索
您的当前位置:首页半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表

半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表

来源:锐游网
序号系统数量单位室外埋地2Central Utilities 工艺大于或同50mm用钢丝网骨架增强PE复合管(PN=1MPa),小于50mm用内筋嵌入式衬塑钢管(内衬PP-R,PN=1.25MPa)卡环连接City Water(自來水)PCW製程冷卻水系統)CDA(製程高壓空氣系統)Process Vacuum(製空系統)House Vacuum(2)(清潔真空系統)冷却塔中温冷水(12C/18C)冷冻水(5C/12C))(空调冰水主机)热水(80o/70oC(锅炉)中温水(37oC/27OC)天然气给锅炉地埋燃油罐3洁净室 Make-up Air(MUA)(新风) Supporting-Area(支援區)Recirculation(循环)空调冷凝水排水重力流空调冷凝水回收Exhaust(排风) General(一般排氣) Acid(酸排氣) Solvent(溶劑排氣)4Ultra Pure Water(超高纯净水)UPW超高纯净水R.O无缝钢管排水用铸铁管,承插接口oooONAPVC-U3UPW冷冻纯净水Reclaim DI(回收系統)5Bulk Gas(大众气体)气体站进纯化间管路(普通氮气)气体站进纯化间管路(其它)General N2普通氮气CDAProcess N2(2+1) 纯净氮气Process O2(1+1)纯净氧气Process ArProcess H2(1+1)纯净氢气Process HeSpecial Gas特别气体 Inert(惰性氣體) Corrosive(腐蝕性氣體) Flammable(揮發性氣體) Toxic(毒性氣體)Chemical化学物品 Acid(酸) Base(碱) 有机类 显影液Waste Water废水 Neutralization Fluoride Others TotalDrain System排废系统 DR-R(回收) DR-W(一般酸鹼) DR-HF(濃) DR-DHF(稀) DR-S溶劑TotalCentral Monitoring & ControlSystem 检测及控制系统67 PPPPPPPPSS3041011121Others其他Fire Fighting System消防系统室外消防栓234141231516室内消防栓消防喷淋灭火器Fire Detection System消防报警系统烟感应排烟Vesda System 消防空气检测系统Cleanroom Control System 洁净室控制系统Production area 生产区内装二次钢结构天花 1.2 x 1.2m盲板高架地板600 x 600mm墙版门及配件1800 x 2100门及配件1800 x 2100窗密封胶环氧树脂风淋室暖通FFU 1.2 x 1.2mFFU 1.2 x 0.6m超高效过滤器1.2 x 1.2m超高效过滤器1.2 x 0.6m新风机干盘管(DCC)保温棉热水保温电气设备配电箱照明配电箱桥架控制桥架IT桥架吨m2m2m2m2个个m22m个 个个个个防静电控制湿度控制器温度控制器控制阀控制风阀平衡阀过滤风机排烟消防系统消防栓箱及管道空气采样管道设计院推荐材料室内埋的/穿墙/室外穿楼板室内备注PP-RPP-R SS304 SS304SS304Sch 80 UPVCSS304干燥器前 SS304,干燥器后 SS 304Sch 80 UPVCNA用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管无缝钢管用无缝钢管NA用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管无缝钢管NA用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管无缝钢管排水用铸铁管,承插接口镀锌铁皮PVC-UPVC-UPVC-U镀锌铁皮镀锌铁皮镀锌铁皮PVC-UPVC-U镀锌圆管PP风管SS304圆管回水用PP-H,PN=1MPa到MAU加湿用Sch40PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCSS304-APSS304-BASS304-APSS304-APSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS304-APSS304-APSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPPFA+透明PVCPFA+透明PVCSS316L-BASS316L-BAPN=1MPaPN=1MPaPN=1MPaPPPPPPPPSS304PPPPPPPPSS304PPPPPPPPSS304PN=1MPaPN=1MPaPN=1MPaPN=1MPaPN=1MPa双壁热镀锌管双壁热镀锌管 双壁热镀锌管双壁热镀锌管双壁热镀锌管双壁热镀锌管 小于100mm螺纹连接,大于100mm卡环连接小于100mm螺纹连接,大于100mm卡环连接镀锌铁皮ABS系统要包括起管道及线铝合金12MM夹心彩钢板压铸铝合金岩棉夹心防静电铁板大于20%的开孔率中性镀锌框镀锌框交流直流待定交流直流待定B1级橡塑+PVC带铝箔的玻璃棉,外包铝皮铜管,铝翅片B1级橡塑+PVC带铝箔的玻璃棉烤漆钢板箱体,双层门(内门活动)铝合金(200及以上T型,200以下槽镀锌扁铁,洁净室内用铜线普通铝合金ABS

因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容

Copyright © 2019- ryyc.cn 版权所有 湘ICP备2023022495号-3

违法及侵权请联系:TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com

本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务