专利名称：物体光滑表面三维形貌测量系统及其测量方法专利类型：发明专利
发明人：刘元坤,李云,张启灿,薛俊鹏申请号：CN201910855466.2申请日：20190911公开号：CN110514144A公开日：20191129
摘要：本发明公开了一种三维形貌测量系统的测量系统及基于该测量系统的测量方法。该测量系统包括一维移动载物平台，一维移动载物平台的移动方向上依次设置有显微物镜、分束镜、第一透镜和CCD相机，分束镜镜面与移动方向的夹角为45°，分束镜的一侧依次设置有第二透镜和用于按第一设定间隔时间循环显示具有3幅以上设定相位差的条纹像的投影设备，投影设备、CCD相机和一维移动载物平台均与上位机连接。
申请人：四川大学
地址：610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
国籍：CN
代理机构：成都正华专利代理事务所(普通合伙)
代理人：肖芳
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