专利名称：一种风门系统专利类型：实用新型专利发明人：李新国,王国镜,刘稼华申请号：CN200620041366.4申请日：20060427公开号：CN2932194Y公开日：20070808
摘要：本实用新型公开了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海浦一知识产权代理有限公司
代理人：王关根
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