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一种蚀刻化学液配比质量的装置[实用新型专利]
来源：锐游网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种蚀刻化学液配比质量的装置专利类型：实用新型专利发明人：王嘉伟,黄建顺申请号：CN201721465421.7申请日：20171106公开号：CN207351982U公开日：20180511
摘要：本实用新型提供一种蚀刻化学液配比质量的装置，包括中间贮槽、缓冲槽、反应室、浓度分析仪、控制器和显示器；中间贮槽与缓冲槽之间的导管设置有阀门，反应室与缓冲槽之间设置有原料导管，使用中间贮槽将混合的化学液体进行充分循环，打开阀门将循环完全的化学液体输送到缓冲罐中，反应时抽取缓冲罐内的液体，并通过浓度分析仪进行浓度的分析，浓度分析仪将分析后的数据输送到控制器中，控制器将获得的数据传输到显示器上显示，使得检测人员知晓化学液体的浓度。同时控制器会将该浓度值与设定的值进行比较，获得符合条件的化学液体，进而得到所需蚀刻率的浓度值，因此避免了测试成本与产能时间的损失，并提高了检测的效率。
申请人：福建省福联集成电路有限公司
地址：351117 福建省莆田市涵江区涵港西路368号
国籍：CN
代理机构：福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
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